製品紹介

Product Introduction

高純度原料の精錬、冶金、ターゲット加工まで一連のサプライチェーンを構築しています。

原 料

  • 高純度(6N5)
    アルミニウムインゴット
  • 高純度(5N)
    タンタルインゴット
  • チタンクリスタル
  • 高純度(5N)マンガン

ターゲット

  • 300mm アルミターゲット
  • 200mm チタンターゲット
  • 300mm タンタルターゲット
  • 200mm ニッケルターゲット
  • 300mm 純銅ターゲット
  • 純銅アノード
  • タンタルコイル
  • 純銅コイル

パーツ

  • Face Plate
  • One Piece Shield
  • Collimater
  • SiC Wafer Tray
  • Ceramic Robot Blade
  • QTZ Insulater
  • Transfer Chamber
  • Chamber(SUS)
  • PVD Mainframe
  • CMP Retainer Ring
  • CMP Head
  • リビルドサービス

  • PVD Mainframe

装置